Elektronen­quelle: Kalte Feldemissionsquelle (Cold FEG)

Auflösung^:  STEM: 78 pm TEM: 230 pm

Korrektor: ASCOR STEM Cs (bis einschließlich 6. Ordnung)

Beschleu­nigungs­spannungen: 40, 80 , 120 und 200 kV

STEM-Detektoren: HAADF, ADF/ABF, BF, SE

Kamera: 16 Megapixel Gatan OneView, max. 300 fps

Analytik: 100 mm² EDX und abbildendes EELS

In-Situ: Protochips Atmosphere, Poseidon und Fusion